반도체

특히 반도체 산업에서 Everflon™ 불소수지는 여러 가지 프로젝트 덕분에 필수적인 소재로 자리매김하고 있습니다. Everflon™은 공정에 사용되는 모든 화학 물질과 우수한 상용성을 가지며, 필터에 사용될 때 뛰어난 발유 및 발수성을 보여 극도로 청결한 환경을 유지하는 데 필수적입니다. 또한 반도체 공정 장비(습식 공정 장비, 유체 이송 시스템, 웨이퍼 핸들링 장비)에도 사용됩니다.

반도체 산업은 정밀 공정에 의존하며 오염에 대한 허용치가 매우 낮기 때문에 제조 공정 전반에 걸쳐 초청정 환경을 요구합니다. 따라서 오염을 최소화하는 소재의 사용이 매우 중요합니다. 이러한 이유로 반도체 산업은 습식 공정 장비, 유체 이송 시스템, 웨이퍼 핸들링 장비에 Everflon™ 불소수지를 사용해 왔습니다. Everflon™ 불소수지는 공정의 유체 이송 부분에 사용되며, 에칭 공정에 사용되는 강력한 화학 물질에도 견딜 수 있도록 용출량이 매우 적은 초순수 유형이 사용됩니다. 반도체 제조업체는 입자, 금속 오염 물질, 그리고 씰 열화로 인한 가스 방출로 인한 오염을 줄이는 것을 주요 목표로 삼고 있습니다.

고순도 Everflon™ PFA는 제조 공정에 사용되는 유체를 초고순도로 유지하는 데 필수적입니다. 이를 통해 더 큰 웨이퍼를 사용할 수 있게 되어 반도체 제조 수율이 향상되고, 결과적으로 더욱 발전되고 경제적인 마이크로칩과 LED를 생산할 수 있습니다.

Everflon™ 불소수지 및 코팅은 통신 장비(예: 기지국, 케이블)가 5G에 필요한 속도, 용량 및 저지연을 달성하도록 보장합니다. Everflon™ 불소수지는 에칭 장비의 밀봉재 및 리소그래피 공정에서 포토마스크의 보호 필름으로도 사용됩니다.

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