고생산성 반도체 공정 전용 불소수지

Everflon™ PFA GC410

공칭 MFR 8의 최적화된 유동성으로 압출 속도 향상과 드로우다운 특성을 극대화하며, 서브나노미터급 초고순도를 완벽히 유지합니다.

균형 잡힌 유동성과 클린룸 초고순도의 조화.

고속 약액 튜빙 압출 및 복잡한 다중 캐비티 정밀 사출 성형에 최적화되었습니다.

8.0 g/10 min

중유동 용융 가공 효율성

우수한 드로우다운 비율을 지원하여 얇은 벽 두께 부품 사출 시 압력을 낮추고, 튜빙 압출 라인의 생산 속도를 크게 향상시킵니다.

260°C

열적 및 화학적 안정성

오존수 및 고온 산성 식각액에 연속 접촉하는 환경에서도 기계적 인장 강도, 탄성률 및 내화학성을 안정적으로 유지합니다.

50,000회

MIT 내굴곡 피로 수명

뛰어난 내환경응력균열성(ESCR)을 제공하여 압력 맥동이 지속되는 초고순도 유체 밸브 및 튜빙의 장기 수명을 보장합니다.

고도화된 고분자 구조 엔지니어링

초고순도 표준 및 화학적 불활성

화학적으로 변성된 완전 불소화 말단기를 적용하여 오존 및 부식성 케미컬에 대한 완벽한 불활성을 제공합니다.

O₃ 불활성

오존 유체 완벽 내성

특수 고분자 개질 기술로 오존 탈이온수 및 SC-1 세정액 이송 시 표면 산화와 미세 균열 발생을 방지합니다.

< 10 ppt

극미량 금속 용출 제어

주요 금속 이온(Fe, Cu, Ni, Cr, Zn, Ca)의 용출을 억제하여 2nm 이하 첨단 리소그래피 및 식각 공정의 웨이퍼 수율을 보호합니다.

무첨가 순수 수지

극저 불소 이온 및 TOC

첨가제가 배제된 순수 배합으로 뛰어난 투명도를 제공하며, 추출성 불화물과 초순수(UPW) 내 총유기탄소(TOC) 용출을 최소화합니다.

100% 안정화

완전 불소화 말단기

분자 사슬 말단의 완전한 불소화 치환을 통해 열분해 가스를 차단하고, 미세 기포 발생을 억제하여 우수한 용융 장력을 유지합니다.

다양한 고효율 성형 가공 적합성

반도체 및 유체 이송 시스템 적용 분야

성형 사이클 단축, 우수한 융착성 및 신뢰할 수 있는 내식성을 제공합니다.

고속 튜빙 및 이중 배관 압출

높은 용융 강도를 기반으로 대구경 다이 및 높은 드로우다운 성형이 가능하여 고순도 화학 튜빙과 이중 보호 배관의 압출 생산 속도를 극대화합니다.

다중 캐비티 정밀 사출 성형품

공칭 MFR 5의 유동성으로 얇은 벽 두께의 플레어 피팅, 밸브 바디, 유니온 너트 및 다중 포트 매니폴드의 캐비티를 완벽히 충진합니다.

자립형 배관 및 탱크 라이닝

고순도 화학 플랜트용 대형 배관 내벽 라이너, 케미컬 저장 용기 및 증류탑의 트랜스퍼 성형과 로토몰딩에 최적화된 물성을 제공합니다.

초정밀 유체 계측 기기 부품

초음파 유량계, 압력 센서의 접액부에 비점착성과 안정적인 유전 특성을 제공하여 분석 장비의 신호 신뢰도를 유지합니다.

SEMI F57 및 FDA 규격 완벽 준수[cite: 1]

Everflon™ PFA GC410은 초고순도 약액 공급 배관 규격(SEMI F57)을 충족하며, FDA 21 CFR 177.1550 및 유럽 식품접촉 규정(EU) No. 10/2011에 부합합니다[cite: 1].

기술 사양 데이터시트

Everflon™ PFA GC410 고생산성 반도체 등급 불소수지 펠릿의 대표 물성값.

물성 항목	시험 규격	단위	대표 공칭값
용융지수 (372°C / 5.0 kg)	KS M ISO 12086 / ASTM D3307	g/10 min	8.0 (6.0 – 12.0)
비중	KS M ISO 1183 / ASTM D792	—	2.15
인장 강도 (23°C)	KS M ISO 527 / ASTM D3307	MPa	26
인장 강도 (250°C)	KS M ISO 527 / ASTM D3307	MPa	10
파단 연신율 (23°C)	KS M ISO 527 / ASTM D3307	%	320
융점 (DSC 피크)	KS M ISO 11357 / ASTM D4591	°C	305
MIT 내굴곡 피로 수명	ASTM D2176	회	50,000
유전상수 (1 MHz)	IEC 60250 / ASTM D150	—	2.03

성형 가공 지침 및 물류 품질 관리

포장, 보관 및 성형 가공 가이드라인

ISO Class 5 클린룸 환경에서의 엄격한 포장 관리와 최적화된 고속 용융 가공 파라미터.

클린룸 이중 밀봉 포장

정전기 방지 처리된 다층 클린룸 전용 폴리에틸렌 백(순중량 25 kg)에 포장 후, 수분 흡수 및 미립자 유입을 차단하는 견고한 밀봉 드럼에 보관됩니다.

성형 가공 온도 제어

권장 용융 가공 온도 범위는 350°C ~ 390°C입니다[cite: 1]. 고분자의 열분해를 방지하기 위해 용융 온도가 400°C를 초과하지 않도록 엄격히 관리해야 합니다.

내식성 합금 설비 필수

용융 수지와 접촉하는 스크루, 배럴, 다이스, 노즐 부품은 고니켈 내식성 합금(Hastelloy® C-276 또는 Inconel® 625 등)을 사용해야 합니다.

압출기 권장 온도 프로파일

후부 (피드 존): 330°C – 350°C | 중부 (압축 존): 350°C – 370°C | 전부 (계량 존): 365°C – 385°C | 다이 및 어댑터: 375°C – 390°C