반도체 공정 전용 초고순도 불소수지

Everflon™ PFA GC403

서브나노미터급 첨단 팹 라인에 최적화된 설계. 극한의 화학적 불활성과 제로에 가까운 미량 금속 용출을 실현합니다.

PPT(1조분의 1) 수준으로 검증된 순도.

최신 반도체 제조 시설의 가장 엄격한 오염 제어 기준을 상회하도록 설계되었습니다.

< 0.1 ppb

총 금속 이온 용출량

정밀 중합 공정 제어로 불산(HF), 황산과수(SPM), SC-1/SC-2 등 초고순도 부식성 케미컬에 대한 금속 용출을 원천 차단합니다.

260°C

연속 사용 내열 온도

고온 케미컬 순환 및 가혹한 열 사이클 환경에서도 인장 강도, 치수 안정성 및 완벽한 기밀성을 유지합니다.

> 500,000회

MIT 내굴곡 피로 수명

우수한 내환경응력균열성(ESC)으로 높은 맥동 압력을 받는 벨로우즈 펌프 및 다이어프램 밸브에 독보적인 수명을 보장합니다.

서브나노미터 오염 제어 엔지니어링

초고순도 품질 표준

이온 용출, 총유기탄소(TOC) 및 미세 파티클 흡착을 철저히 배제하도록 정밀 배합되었습니다.

< 10 ppt

핵심 미량 금속 제어

주요 금속 이온(Fe, Cu, Ni, Cr, Zn, Ca)을 극미량으로 관리하여 최첨단 리소그래피 및 식각 공정의 웨이퍼 수율을 보호합니다.

극저 TOC

총유기탄소(TOC) 최소화

고도화된 말단기 불소화 공정을 통해 초순수(UPW) 및 고순도 용제 내 유기물 용출 및 아웃가스 방출을 억제합니다.

Ra < 0.1 μm

경면 수준의 초평활 표면

비다공성 매끄러운 내벽 구조로 파티클 트랩 및 체류를 차단하여 설비 셋업 시 플러싱 및 품질 인증 시간을 단축합니다.

100%

완전 불소화 말단기 안정성

불안정한 분자 사슬 말단을 불활성 $-CF_3$ 기로 완전 치환하여 용융 가공 시 기포 발생, 변색 및 냄새를 완벽히 억제합니다.

고정밀 미션 크리티컬 시스템

반도체 주요 적용 분야

초청정 환경과 최첨단 팹 라인에서 검증된 신뢰성을 제공합니다.

초고순도 약액 이송 튜빙 & 배관

중앙 약액 공급 시스템(CCDS)을 위한 초평활 튜브 압출. 고농도 불산, 질산, 황산 및 고순도 솔벤트 공급 라인에 최적.

밸브, 피팅 및 펌프 다이어프램

누설 없는 플레어 피팅, 밸브 매니폴드 및 굴곡 피로 수명이 뛰어난 펌프용 다이어프램 정밀 사출 및 트랜스퍼 성형.

웨이퍼 캐리어 및 습식 세정 베스

웨이퍼 카세트 및 딥 베스에 적용되어 가혹한 SPM 세정 공정 시에도 치수 안정성을 유지하며 교차 오염을 방지합니다.

센서 보호 및 화학 저장 탱크 라이닝

유량계, 압력 센서의 절연 보호 및 초고순도 케미컬 저장 탱크의 부식 방지 라이닝에 탁월한 내구성을 발휘합니다.

국제 반도체 표준(SEMI 규격) 완벽 준수

Everflon™ PFA GC403은 액체 화학물질 공급 시스템 규격(SEMI F57 등)을 충족하여 최신 반도체 제조 공정 라인 도입 및 퀄(Qualification) 획득을 신속하게 지원합니다.

기술 사양 데이터시트

Everflon™ PFA GC403 반도체 등급 불소수지 펠릿의 대표 공칭 물성값.

물성 항목	시험 규격	단위	대표 공칭값
용융지수 (372°C / 5.0 kg)	KS M ISO 1133 / ASTM D1238	g/10 min	1.8 – 2.5
비중	KS M ISO 1183 / ASTM D792	—	2.15
인장 강도 (23°C)	KS M ISO 527 / ASTM D638	MPa	≥ 32
파단 연신율	KS M ISO 527 / ASTM D638	%	≥ 350
융점 (DSC 피크)	KS M ISO 11357 / ASTM D3418	°C	305 – 310
유전상수 (1 MHz)	IEC 60250 / ASTM D150	—	2.1

제조 및 가공 엔지니어링 관리

포장, 보관 및 성형 가공 가이드라인

Class 100 클린룸 환경에서의 엄격한 포장과 최적화된 용융 가공 파라미터.

클린룸 이중 밀봉 포장

정전기 방지 처리된 클린룸 전용 폴리에틸렌 이중 백(순중량 25 kg)으로 밀봉 후 견고한 드럼통에 포장되어 수분 및 공기 중 미립자 유입을 차단합니다.

가공 온도 제어

권장 용융 가공 온도 범위는 350°C ~ 390°C입니다. 폴리머의 열분해를 방지하기 위해 용융 온도가 400°C를 초과하지 않도록 관리해야 합니다.

내식성 합금 설비 필수

용융 수지와 접촉하는 스크루, 배럴, 다이스, 노즐 부품은 고니켈 내식성 합금(Hastelloy® C-276 또는 Inconel® 625 등)을 필히 사용해야 합니다.

압출기 권장 온도 프로파일

후부 (피드 존): 330°C – 350°C | 중부 (압축 존): 350°C – 370°C | 전부 (계량 존): 365°C – 385°C | 다이 및 어댑터: 375°C – 390°C